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专利简介
一种用于合成 2H/1T′TMD 异质相结的方法及基于该方法的器件
简介
本发明一般涉及过渡金属硫族化合物(TMD)异质相结。更具体地说,本发明涉及一种用于生长 2H/1T′二硫化钼(MoS2)异质相结的化学气相沉积(CVD)方法。