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专利简介

一种基于水的液固相变的清洁方法

简介
本发明提供了一种基于水的液固相变的清洁方法。该方法包括以下步骤：将水滴在目标表面上，然后将辅助基底覆盖在目标表面的水滴上，使水滴被压成水膜；将温度降低至冰点温度以下的清洁温度，使水膜冻结为冰层；将辅助基底连同冰层一起剥离，使污染物随冰层去除；加热并蒸发目标表面上残留的水，完成目标表面上污染物的清洁；其中，所述清洁温度为-5℃至-30℃。本发明提供的清洁方法对二维材料和衬底没有损坏，从而避免了传统方法中可能会导致二维材料产生缺陷的极端条件。